FT-CZ1400Se

12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶爐

拉晶過(guò)程全程自動(dòng)化

在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將硅材料熔化，

用直拉法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)單晶的設(shè)備。

 

性能優(yōu)勢(shì)

設(shè)備主體結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提高了整機(jī)穩(wěn)定性。

具有拉制12英寸COP FREE半導(dǎo)體單晶硅棒的功能。

采用新型隔離閥。

液面高度監(jiān)控系統(tǒng)。

高精度傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。

12英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶爐
型號(hào) FT-CZ1400Se
場(chǎng)所 周圍溫度 15 ~ 30℃
周圍濕度 ≤65%（無(wú)結(jié)露，腐蝕氣體）
潔凈度 5000級(jí)凈空房
噪音 ≤75db
地基 3000kg/㎡以上
電源 額定電壓 380VAC±10%, 3P, 50/60Hz
額定電容 420kVA
額定流量 650A
冷卻水 流量范圍 400 ~ 500L/min
供給壓力 0.3 ~ 0.5MPa
重量 設(shè)備高度                                                                       ＜10600mm                                                            △      
設(shè)備重量 約26T

 

 

△ 項(xiàng)數(shù)據(jù)視上爐筒高度而定，本設(shè)備數(shù)據(jù)不含磁場(chǎng)。

全國(guó)熱線

021-36162928

Copyright © 上海漢虹精密機(jī)械有限公司 滬ICP備12008363號(hào)-1

在線咨詢

感謝您的關(guān)注，漢虹專屬技術(shù)顧問(wèn)將為您提供服務(wù)

提交
取消

微端咨詢

掃描二維碼，漢虹專屬技術(shù)顧問(wèn)將為您提供服務(wù)

取消

掃描二維碼，關(guān)注抖音漢虹官方公眾號(hào)

取消