FT-CZ1806Se

6英寸半導(dǎo)體級單晶爐

拉晶過程全程自動化

在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將硅材料熔化，

用直拉法生長無位錯單晶的設(shè)備。

 

性能優(yōu)勢

設(shè)備主體結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提高了整機穩(wěn)定性。

具有拉制12英寸COP FREE半導(dǎo)體單晶硅棒的功能。

采用新型隔離閥。

液面高度監(jiān)控系統(tǒng)。

高精度傳動機構(gòu)。

雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。

 

如需獲取6寸半導(dǎo)體級單晶爐具體數(shù)據(jù)，請向漢虹銷售工程師咨詢溝通。

  

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